锗衬底晶片
锗单晶片是重要的半导体衬底材料,有着良好的半导体性质,如电子迁移率、空穴迁移率等等。主要用于地面聚光光伏电站(CPV)、空间太阳能电池板以及超高亮度的LED衬底材料。
鑫科汇可提供低位错或零位错错衬底,规格包括2英寸、3英寸、4英寸和6英寸。亦可根据客户需求,定制非标厚度和晶向的Ge衬底。
单位 半导体型 规格 | |||||
导电类型 | n型 | p型 | |||
晶体生长方式 | CZ/VGF | ||||
掺杂 | Sb | Ga | |||
尺寸 | inch | 2", 3", 4" and 6" | 2", 3",4" and 6" | ||
晶向* | (100)±0.5° | (100)±0.5° | |||
OF/IF | US, EJ US.EJ | ||||
电阻率(室温) | ohm.cm | 0.002-40 0.002-0.005 | |||
位错密度(EPD) | /cm2 | - ≤300 | |||
激光打标 | 按客户要求定制 | ||||
成品厚度* | um | (175-500)±25 | |||
TTV平整度 | μm | ≤15 | ≤15 | ||
翘曲度 | um | ≤25 ≤25 | |||
主面/背面 | Sidel | 抛光 | 抛光 | ||
Side2 | 腐蚀/Grinding | 腐蚀/Grinding | |||
开盒即用 | 是 | ||||
包装 | 单片盒或多片盒 |